コーターカップユニットとホットプレートユニットを持つ高粘度樹脂対応、高排気タイプの一般的なコーターを推奨します。
主要なコーターデベロッパーメーカでは液状ポリイミド用のラインアップがございます。
感光性製品については、一般的なi線ステッパー及びブロードバンドアライナを推奨します。
パドル現像が可能な一般的なデベロッパーを推奨します。
主要なコーターデベロッパーメーカでは現像タイプによりラインアップがございます。
拡散炉、イナートガスオーブン等N2雰囲気を保ちO2濃度がコントロールできる硬化炉を推奨します。
非感光製品についてはAir雰囲気のクリーンオーブンでも硬化できます。
東京都新宿区新宿4丁目1番6号
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